Описание 
Проектирование систем очистки для удовлетворения сборов, таких как интегральная схема, оптическая система и требования к чистой комнате и связанной с ней контролируемой среде, в основном для управления пылевыми частицами, в зависимости от необходимости выбора различного уровня очистки.