وصف 
هندسة أنظمة تنقية لتلبية التجمع مثل الدوائر المتكاملة، والنظام البصري لمتطلبات غرفة نظيفة والبيئة ذات الصلة تسيطر عليها، وذلك أساسا للسيطرة على جزيئات الغبار، وفقا للحاجة إلى اختيار مستوى نظيف مختلف.